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Handbook of plasma processing technology: fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
Stephen M. Rossnagel, William D. Westwood, Jerome J. HaberQuanto Você gostou deste livro?
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This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.
Categorias:
Ano:
1990
Editora:
Noyes Publications
Idioma:
english
Páginas:
535
ISBN 10:
0815517637
ISBN 13:
9780815517634
Série:
Materials science and process technology series
Arquivo:
DJVU, 4.98 MB
As suas tags:
IPFS:
CID , CID Blake2b
english, 1990
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